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　　亦称为无尘室、无尘车间或清净室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。其主要作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。洁净室具有一个受控的污染级别，这个级别可用每立方米的颗粒数，或者用最大颗粒大小来厘定。

　　洁净室广泛应用于对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、医院等行业等。其中，半导体行业对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格，因此必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。

　　洁净室的分类按控制方式分为全封闭净化空调系统（简称风淋室）、半封闭式净化空调系统（简称货淋室）和局部百级净化空调系统（简称超净工作台）。

　　要确保洁净室的性能达到预期的洁净度和性能，以下是一些关键步骤和措施：

　　合理设计与规划：首先，洁净室的设计应充分考虑其使用目的、工艺流程、人员流动和设备布局等因素。合理的气流组织和布局，以及足够的空间，都有助于减少污染物的产生和扩散。

　　选择合适的空气净化系统：高效的空气净化系统是确保洁净室洁净度的关键。这包括高效过滤器、空气处理单元、通风系统等。过滤器应定期更换，以保持其过滤效率。

　　控制人员与物品流动：人员和物品是洁净室内主要的污染源。因此，应严格控制人员和物品的进出，设置适当的气闸室或风淋室，以减少污染物的带入。

　　定期维护和清洁：洁净室应定期进行清洁和维护，包括清洁地面、墙面、天花板和设备等。清洁过程中应使用专门的清洁工具和清洁剂，以避免引入新的污染物。

　　监测与记录：应定期对洁净室的洁净度、温湿度、气流速度等参数进行监测和记录。这有助于及时发现并解决潜在问题，确保洁净室的性能稳定。

　　培训与操作规范：洁净室的操作人员应接受专业培训，了解洁净室的重要性和操作规程。同时，应制定并执行严格的洁净室操作规范，以减少人为因素导致的污染。

　　定期审核与改进：定期对洁净室的性能进行审核和评估，发现问题及时改进。同时，也可以借鉴其他成功案例和经验，不断优化和提升洁净室的性能。

　　通过以上措施，可以确保洁净室的性能达到预期的洁净度和性能，从而满足生产或实验的需求。